半導體制造行業(yè)信息化需求:
隨著我國半導體產(chǎn)業(yè)近幾年的迅速發(fā)展以及國家政策的大力支持,半導體產(chǎn)品國產(chǎn)替代化進程逐步加快,取得了不錯的發(fā)展成就。半導體制造業(yè)是一個典型的技術密集型的科技制造行業(yè),其生產(chǎn)工藝的復雜性和精確性,要求半導體制造業(yè)對生產(chǎn)過程需要實施更加精細化的管理,所以建立一個完整的MES系統(tǒng),是企業(yè)發(fā)展的必要條件。
半導體制造企業(yè)在車間生產(chǎn)制造過程中面臨生產(chǎn)過程不透明、現(xiàn)場信息反饋不及時、設備運行狀態(tài)監(jiān)控難等諸多痛點,大多數(shù)企業(yè)渴望通過智能化升級加強對生產(chǎn)過程的管理。
安奈特RFID+解決方案:
以符合半導體行業(yè)標準的低頻工業(yè)RFID識別產(chǎn)品為信息載體,幫助半導體Loadpord設備(EFME模塊設備),天車,F(xiàn)OUP存儲貨架等信息化提供一整套應用解決方案。
1 半導體行業(yè)中l(wèi)oadpord設備(即EFEM模塊設備)RFID應用場景:
半導體行業(yè)的12寸晶圓盒的生產(chǎn),均采用自動化天車的搬運,為了快速實現(xiàn)晶圓盒的搬運準確性,以及追蹤工序進度。半導體車間的FOUP上會植入一枚TI載碼體,在Loadpord設備上安裝一臺符合支持標準工業(yè)半導體 HSMS(或者Modbus TCP)、標準工業(yè)半導體 SECS(或者Modbus RTU)、還支持 1 和 N 協(xié)議的分體式低頻讀卡器,用于識別FOUP上的TI載碼體。

2 半導體行業(yè)中天車設備RFID應用場景:
鑒于12寸晶圓盒非人力所能搬動,需要自動化天車設備搬運12寸晶圓盒,天車的運動軌跡需要半導體內(nèi)部車間的MES系統(tǒng)(天車調(diào)度系統(tǒng))控制,故需要實時調(diào)度天車和天車的有效路徑,需要在天車安裝一臺分體式低頻讀卡器,用于識別FOUP上的TI載碼體,后臺管理系統(tǒng)可快速調(diào)度天車的下一步工序路徑。

3 半導體FOUP存儲貨架的RFID應用場景:
半導體晶圓盒內(nèi)部的產(chǎn)品信息會與內(nèi)嵌的TI載碼體在后臺系統(tǒng)實時關聯(lián),F(xiàn)OUP存放在倉庫貨架時,貨架安裝低頻多通道讀寫器,將實時監(jiān)控到每個貨架上存儲的FOUP的信息,以及倉庫中FOUP的數(shù)量等信息上傳到后臺MES管理系統(tǒng),可快速知曉整個半導體倉儲貨架的庫存情況。
安裝與應用示意圖:


使用安奈特低頻讀卡器與TI載碼體:
半導體讀寫器:
TI半導體標簽:

致力于成為全球制造業(yè)前沿科技的卓越引領者,用創(chuàng)新智能方案重塑工業(yè)RFID未來。